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東莞金屬激光切割加工的主要特點(diǎn)
文章出處:新聞資訊
責(zé)任編輯:廣東嘉杰智能裝備有限公司
發(fā)表時(shí)間:2016-07-04
東莞金屬激光切割加工經(jīng)過聚焦后照射到材料上,使被切割材料溫度急速升高,然后使之熔化或氣化。隨著激光與被切割材料的相對運(yùn)動(dòng),在切割材料上形成切縫從而達(dá)到切割的目的。在切割晶圓時(shí)通常選擇紫外激光作為切割光源,與YAG激光和CO2激光通過熱效應(yīng)來切割不同,紫外激光直接破壞被加工材料的化學(xué)鍵,從而達(dá)到切割目的,
那么在‘冷”過程,熱影響區(qū)域小;另外紫外激光的波長短、能力集中且切割寬度小,因此在精密切割和微加工領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用。在實(shí)際應(yīng)用中激光切割加工晶圓有兩種,一是劃片切割,即切割深度只需硅片厚度的1/3-1/4,由于應(yīng)力作用只需稍加外力,晶圓就可以很容易地沿切縫裂開;二是穿透切割,要求將晶圓切穿并分離。東莞金屬激光切割加工晶圓切割首先是晶圓黏片,它是在晶圓背面上黏性薄膜并用鋼制框架支撐,然后進(jìn)行切割.
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